干式螺桿真空泵使用較為簡單，但是開停機過程仍然需要遵循一定的順序。其中正常的停機順序如下：
首先是關(guān)閉進氣端的主閥；
其次是如果干式螺桿真空泵的抽氣介質(zhì)含有腐蝕性氣體，以及粘性物質(zhì)等，需要開啟吹掃裝置，對泵腔進行20～30分鐘左右的清掃，清掃介質(zhì)可以干燥的空氣、氮氣等惰性氣體或者溶劑，來清潔泵腔內(nèi)部，防止這些介質(zhì)對泵產(chǎn)生影響；
第三，關(guān)閉電機，停止真空泵的運行；
第四，關(guān)閉干式螺桿真空泵的冷卻水系統(tǒng)。
如果是在冬季或者寒冷的環(huán)境下，可能出現(xiàn)結(jié)冰現(xiàn)象，那么還需要將干式螺桿真空泵冷卻水夾套內(nèi)以及相關(guān)管路中的水排除干凈，防止凍裂。
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